氮化铝薄膜的硅热扩散掺杂研究(英文)
文献类型：期刊论文
| 作者 | 孙晓娟 ; 缪国庆; 李志明; 蒋红; 黎大兵; 宋航; 陈一仁
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| 刊名 | 发光学报
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| 出版日期 | 2012-07-15 |
| 期号 | 07页码:768-773 |
| 关键词 | 杂质 氮化物 热扩散 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27435]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙晓娟,缪国庆,李志明,等. 氮化铝薄膜的硅热扩散掺杂研究(英文)[J]. 发光学报,2012(07):768-773. |
| APA | 孙晓娟.,缪国庆.,李志明.,蒋红.,黎大兵.,...&陈一仁.(2012).氮化铝薄膜的硅热扩散掺杂研究(英文).发光学报(07),768-773. |
| MLA | 孙晓娟,et al."氮化铝薄膜的硅热扩散掺杂研究(英文)".发光学报 .07(2012):768-773. |
入库方式： OAI收割
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