点衍射干涉仪小孔掩模制备与检测技术研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 于长淞
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| 刊名 | 长春理工大学学报(自然科学版)
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| 出版日期 | 2012-12-15 |
| 期号 | 04页码:24-26+30 |
| 关键词 | 光学器件 小孔掩模 聚焦离子束 扫描电镜 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27452]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 于长淞. 点衍射干涉仪小孔掩模制备与检测技术研究[J]. 长春理工大学学报(自然科学版),2012(04):24-26+30. |
| APA | 于长淞.(2012).点衍射干涉仪小孔掩模制备与检测技术研究.长春理工大学学报(自然科学版)(04),24-26+30. |
| MLA | 于长淞."点衍射干涉仪小孔掩模制备与检测技术研究".长春理工大学学报(自然科学版) .04(2012):24-26+30. |
入库方式： OAI收割
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