高复现性面形检测支撑装置研制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王丽萍 ; 周烽; 于杰; 王辉
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| 刊名 | 中国激光
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| 出版日期 | 2012-11-10 |
| 期号 | 11页码:136-140 |
| 关键词 | 测量 极紫外光刻 高重复性干涉仪 有限元分析 检测支撑 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27516]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王丽萍,周烽,于杰,等. 高复现性面形检测支撑装置研制[J]. 中国激光,2012(11):136-140. |
| APA | 王丽萍,周烽,于杰,&王辉.(2012).高复现性面形检测支撑装置研制.中国激光(11),136-140. |
| MLA | 王丽萍,et al."高复现性面形检测支撑装置研制".中国激光 .11(2012):136-140. |
入库方式： OAI收割
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