光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 巩岩 ; 孙振
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| 刊名 | 中国光学
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| 出版日期 | 2012-08-15 |
| 期号 | 04页码:401-406 |
| 关键词 | 可变光阑 投影物镜 结构设计 有限元分析 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27573]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 巩岩,孙振. 光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析[J]. 中国光学,2012(04):401-406. |
| APA | 巩岩,&孙振.(2012).光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析.中国光学(04),401-406. |
| MLA | 巩岩,et al."光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析".中国光学 .04(2012):401-406. |
入库方式： OAI收割
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