光刻物镜波像差检测平台移相装置的研制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 向阳 ; 齐克奇
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| 刊名 | 光子学报
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| 出版日期 | 2012-12-15 |
| 期号 | 12页码:1452-1455 |
| 关键词 | 光刻投影物镜 波像差 相移测量 桥式放大机构 有限元 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27574]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 向阳,齐克奇. 光刻物镜波像差检测平台移相装置的研制[J]. 光子学报,2012(12):1452-1455. |
| APA | 向阳,&齐克奇.(2012).光刻物镜波像差检测平台移相装置的研制.光子学报(12),1452-1455. |
| MLA | 向阳,et al."光刻物镜波像差检测平台移相装置的研制".光子学报 .12(2012):1452-1455. |
入库方式： OAI收割
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