光刻物镜波像差检测平台针孔对准装置的研制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 齐克奇
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| 刊名 | 长春理工大学学报(自然科学版)
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| 出版日期 | 2012-12-15 |
| 期号 | 04页码:46-48+45 |
| 关键词 | 光刻物镜波像差检测平台 针孔定位 自解耦 有限元方法 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27575]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 齐克奇. 光刻物镜波像差检测平台针孔对准装置的研制[J]. 长春理工大学学报(自然科学版),2012(04):46-48+45. |
| APA | 齐克奇.(2012).光刻物镜波像差检测平台针孔对准装置的研制.长春理工大学学报(自然科学版)(04),46-48+45. |
| MLA | 齐克奇."光刻物镜波像差检测平台针孔对准装置的研制".长春理工大学学报(自然科学版) .04(2012):46-48+45. |
入库方式： OAI收割
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