光刻物镜中透镜高精度支撑结构的设计及分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 巩岩 ; 赵磊
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| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2012-09-10 |
| 期号 | 09页码:224-229 |
| 关键词 | 光学器件 光刻投影物镜 透镜支撑结构 自重变形 热变形 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27576]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 巩岩,赵磊. 光刻物镜中透镜高精度支撑结构的设计及分析[J]. 光学学报,2012(09):224-229. |
| APA | 巩岩,&赵磊.(2012).光刻物镜中透镜高精度支撑结构的设计及分析.光学学报(09),224-229. |
| MLA | 巩岩,et al."光刻物镜中透镜高精度支撑结构的设计及分析".光学学报 .09(2012):224-229. |
入库方式： OAI收割
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