光栅参数测量技术研究进展
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张巍 ; 巩岩
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| 刊名 | 中国光学
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| 出版日期 | 2011-04-15 |
| 期号 | 02页码:103-110 |
| 关键词 | 光栅 光栅参数测量 原子力显微镜 扫描电子显微镜 激光衍射仪 椭偏仪 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27583]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张巍,巩岩. 光栅参数测量技术研究进展[J]. 中国光学,2011(02):103-110. |
| APA | 张巍,&巩岩.(2011).光栅参数测量技术研究进展.中国光学(02),103-110. |
| MLA | 张巍,et al."光栅参数测量技术研究进展".中国光学 .02(2011):103-110. |
入库方式： OAI收割
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