基于掠入射X射线反射谱的Mo/Si多层膜扩散系数测量
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李春 ; 金春水; 喻波
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| 刊名 | 中国激光
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| 出版日期 | 2011-11-10 |
| 期号 | 11页码:220-225 |
| 关键词 | 薄膜 Mo/Si多层膜 扩散系数 掠入射X射线反射谱 四层模型 极紫外 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27759]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李春,金春水,喻波. 基于掠入射X射线反射谱的Mo/Si多层膜扩散系数测量[J]. 中国激光,2011(11):220-225. |
| APA | 李春,金春水,&喻波.(2011).基于掠入射X射线反射谱的Mo/Si多层膜扩散系数测量.中国激光(11),220-225. |
| MLA | 李春,et al."基于掠入射X射线反射谱的Mo/Si多层膜扩散系数测量".中国激光 .11(2011):220-225. |
入库方式： OAI收割
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