极紫外光刻离轴照明技术研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 金春水 ; 王丽萍
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| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2012-12-10 |
| 期号 | 12页码:147-152 |
| 关键词 | X射线光学 极紫外光刻 分辨率增强 离轴照明阴影效应 光刻胶 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27809]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金春水,王丽萍. 极紫外光刻离轴照明技术研究[J]. 光学学报,2012(12):147-152. |
| APA | 金春水,&王丽萍.(2012).极紫外光刻离轴照明技术研究.光学学报(12),147-152. |
| MLA | 金春水,et al."极紫外光刻离轴照明技术研究".光学学报 .12(2012):147-152. |
入库方式： OAI收割
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