计量圆光栅的制作工艺及质量参数研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈赟 ; 李艳茹 ; 张红胜 |
| 刊名 | 长春理工大学学报(自然科学版)
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| 出版日期 | 2012-09-15 |
| 期号 | 03页码:40-43 |
| 关键词 | 计量圆光栅 制作工艺 刻划精度 均匀性 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27813]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈赟,李艳茹,张红胜. 计量圆光栅的制作工艺及质量参数研究[J]. 长春理工大学学报(自然科学版),2012(03):40-43. |
| APA | 陈赟,李艳茹,&张红胜.(2012).计量圆光栅的制作工艺及质量参数研究.长春理工大学学报(自然科学版)(03),40-43. |
| MLA | 陈赟,et al."计量圆光栅的制作工艺及质量参数研究".长春理工大学学报(自然科学版) .03(2012):40-43. |
入库方式： OAI收割
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