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静电拉伸薄膜反射镜的多电极成形控制

文献类型:期刊论文

作者张鹏 ; 金光 ; 张元 ; 钟兴
刊名光学精密工程
出版日期2012-02-15
期号02页码:344-351
关键词静电拉伸薄膜 薄膜反射镜 成形控制 反演求解
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27841]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
张鹏,金光,张元,等. 静电拉伸薄膜反射镜的多电极成形控制[J]. 光学精密工程,2012(02):344-351.
APA 张鹏,金光,张元,&钟兴.(2012).静电拉伸薄膜反射镜的多电极成形控制.光学精密工程(02),344-351.
MLA 张鹏,et al."静电拉伸薄膜反射镜的多电极成形控制".光学精密工程 .02(2012):344-351.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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