静电拉伸薄膜反射镜的多电极成形控制
文献类型:期刊论文
作者 | 张鹏 ; 金光 ; 张元 ; 钟兴 |
刊名 | 光学精密工程
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出版日期 | 2012-02-15 |
期号 | 02页码:344-351 |
关键词 | 静电拉伸薄膜 薄膜反射镜 成形控制 反演求解 |
公开日期 | 2013-03-11 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27841] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张鹏,金光,张元,等. 静电拉伸薄膜反射镜的多电极成形控制[J]. 光学精密工程,2012(02):344-351. |
APA | 张鹏,金光,张元,&钟兴.(2012).静电拉伸薄膜反射镜的多电极成形控制.光学精密工程(02),344-351. |
MLA | 张鹏,et al."静电拉伸薄膜反射镜的多电极成形控制".光学精密工程 .02(2012):344-351. |
入库方式: OAI收割
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