全息光栅曝光系统中空间滤波器孔径与激光束腰关系的选择方法
文献类型：期刊论文
| 作者 | 韩建 ; 巴音贺希格 ; 李文昊 |
| 刊名 | 物理学报
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| 出版日期 | 2012-04-23 |
| 期号 | 08页码:176-182 |
| 关键词 | 全息光栅 空间滤波器 衍射效应 相位突变 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27991]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 韩建,巴音贺希格,李文昊. 全息光栅曝光系统中空间滤波器孔径与激光束腰关系的选择方法[J]. 物理学报,2012(08):176-182. |
| APA | 韩建,巴音贺希格,&李文昊.(2012).全息光栅曝光系统中空间滤波器孔径与激光束腰关系的选择方法.物理学报(08),176-182. |
| MLA | 韩建,et al."全息光栅曝光系统中空间滤波器孔径与激光束腰关系的选择方法".物理学报 .08(2012):176-182. |
入库方式： OAI收割
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