闪耀全息光栅离子束刻蚀工艺模拟及实验验证
文献类型：期刊论文
| 作者 | 吴娜 ; 谭鑫 ; 巴音贺希格 ; 唐玉国 |
| 刊名 | 光学精密工程
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| 出版日期 | 2012-09-15 |
| 期号 | 09页码:1904-1912 |
| 关键词 | 闪耀光栅 全息光栅 衍射效率 刻蚀模拟 离子束刻蚀 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28013]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴娜,谭鑫,巴音贺希格,等. 闪耀全息光栅离子束刻蚀工艺模拟及实验验证[J]. 光学精密工程,2012(09):1904-1912. |
| APA | 吴娜,谭鑫,巴音贺希格,&唐玉国.(2012).闪耀全息光栅离子束刻蚀工艺模拟及实验验证.光学精密工程(09),1904-1912. |
| MLA | 吴娜,et al."闪耀全息光栅离子束刻蚀工艺模拟及实验验证".光学精密工程 .09(2012):1904-1912. |
入库方式： OAI收割
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