射频功率和衬底温度对碳化锗膜中sp3杂化碳原子的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 郑宣鸣 ; 高劲松; 王彤彤; 申振峰; 王笑夷
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| 刊名 | 红外与激光工程
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| 出版日期 | 2012-08-25 |
| 期号 | 08页码:2167-2172 |
| 关键词 | 碳化锗 sp3杂化碳原子 射频功率 衬底温度 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28014]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郑宣鸣,高劲松,王彤彤,等. 射频功率和衬底温度对碳化锗膜中sp3杂化碳原子的影响[J]. 红外与激光工程,2012(08):2167-2172. |
| APA | 郑宣鸣,高劲松,王彤彤,申振峰,&王笑夷.(2012).射频功率和衬底温度对碳化锗膜中sp3杂化碳原子的影响.红外与激光工程(08),2167-2172. |
| MLA | 郑宣鸣,et al."射频功率和衬底温度对碳化锗膜中sp3杂化碳原子的影响".红外与激光工程 .08(2012):2167-2172. |
入库方式： OAI收割
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