碳化硅光学表面抛光机理研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 范镝
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| 刊名 | 激光与光电子学进展
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| 出版日期 | 2012-02-10 |
| 期号 | 02页码:131-134 |
| 关键词 | 光学制造 抛光机理 碳化硅 压痕断裂模型 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28063]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 范镝. 碳化硅光学表面抛光机理研究[J]. 激光与光电子学进展,2012(02):131-134. |
| APA | 范镝.(2012).碳化硅光学表面抛光机理研究.激光与光电子学进展(02),131-134. |
| MLA | 范镝."碳化硅光学表面抛光机理研究".激光与光电子学进展 .02(2012):131-134. |
入库方式： OAI收割
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