提高深紫外光刻照明系统扩束单元光束均匀性的方法
文献类型：期刊论文
| 作者 | 赵阳; 巩岩 ; 赵阳
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| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2012-08-10 |
| 期号 | 08页码:161-167 |
| 关键词 | 几何光学 非平行反射扩束单元 子光束叠加 照明均匀性 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28069]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵阳,巩岩,赵阳. 提高深紫外光刻照明系统扩束单元光束均匀性的方法[J]. 光学学报,2012(08):161-167. |
| APA | 赵阳,巩岩,&赵阳.(2012).提高深紫外光刻照明系统扩束单元光束均匀性的方法.光学学报(08),161-167. |
| MLA | 赵阳,et al."提高深紫外光刻照明系统扩束单元光束均匀性的方法".光学学报 .08(2012):161-167. |
入库方式： OAI收割
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