投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张巍 ; 巩岩
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| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2011-10-10 |
| 期号 | 10页码:33-38 |
| 关键词 | 衍射 衍射光学元件 光束整形 矢量角谱 偏振 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28077]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张巍,巩岩. 投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析[J]. 光学学报,2011(10):33-38. |
| APA | 张巍,&巩岩.(2011).投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析.光学学报(10),33-38. |
| MLA | 张巍,et al."投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析".光学学报 .10(2011):33-38. |
入库方式： OAI收割
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