退火对Zn扩散的影响及其在InGaAs探测器中的应用
文献类型:期刊论文
作者 | 缪国庆![]() |
刊名 | 红外与激光工程
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出版日期 | 2012-02-25 |
期号 | 02页码:279-283 |
关键词 | 快速热退火 Zn扩散 结深 InGaAs |
公开日期 | 2013-03-11 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28086] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 缪国庆. 退火对Zn扩散的影响及其在InGaAs探测器中的应用[J]. 红外与激光工程,2012(02):279-283. |
APA | 缪国庆.(2012).退火对Zn扩散的影响及其在InGaAs探测器中的应用.红外与激光工程(02),279-283. |
MLA | 缪国庆."退火对Zn扩散的影响及其在InGaAs探测器中的应用".红外与激光工程 .02(2012):279-283. |
入库方式: OAI收割
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