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退火对Zn扩散的影响及其在InGaAs探测器中的应用

文献类型:期刊论文

作者缪国庆
刊名红外与激光工程
出版日期2012-02-25
期号02页码:279-283
关键词快速热退火 Zn扩散 结深 InGaAs
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28086]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
缪国庆. 退火对Zn扩散的影响及其在InGaAs探测器中的应用[J]. 红外与激光工程,2012(02):279-283.
APA 缪国庆.(2012).退火对Zn扩散的影响及其在InGaAs探测器中的应用.红外与激光工程(02),279-283.
MLA 缪国庆."退火对Zn扩散的影响及其在InGaAs探测器中的应用".红外与激光工程 .02(2012):279-283.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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