用低压反应离子镀技术制备的类金刚石薄膜及其表征
文献类型：期刊论文
| 作者 | 高劲松 ; 申振峰; 王彤彤
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| 刊名 | 红外
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| 出版日期 | 2011-08-10 |
| 期号 | 08页码:8-11 |
| 关键词 | 低压反应离子镀 类金刚石薄膜 拉曼光谱 显微硬度 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28208]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高劲松,申振峰,王彤彤. 用低压反应离子镀技术制备的类金刚石薄膜及其表征[J]. 红外,2011(08):8-11. |
| APA | 高劲松,申振峰,&王彤彤.(2011).用低压反应离子镀技术制备的类金刚石薄膜及其表征.红外(08),8-11. |
| MLA | 高劲松,et al."用低压反应离子镀技术制备的类金刚石薄膜及其表征".红外 .08(2011):8-11. |
入库方式： OAI收割
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