用于ArF准分子激光器的CaF_2衬底性能的实验表征
文献类型：期刊论文
| 作者 | 邓文渊 ; 靳京城; 金春水
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| 刊名 | 中国激光
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| 出版日期 | 2011-10-10 |
| 期号 | 10页码:22-27 |
| 关键词 | 激光器 ArF准分子激光器 CaF2衬底 激光量热吸收 表面粗糙度 光谱术 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28210]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邓文渊,靳京城,金春水. 用于ArF准分子激光器的CaF_2衬底性能的实验表征[J]. 中国激光,2011(10):22-27. |
| APA | 邓文渊,靳京城,&金春水.(2011).用于ArF准分子激光器的CaF_2衬底性能的实验表征.中国激光(10),22-27. |
| MLA | 邓文渊,et al."用于ArF准分子激光器的CaF_2衬底性能的实验表征".中国激光 .10(2011):22-27. |
入库方式： OAI收割
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