预通三甲基铝对AlN薄膜的结构与应变的影响(英文)
文献类型：期刊论文
| 作者 | 宋航 ; 李志明; 缪国庆; 蒋红; 黎大兵; 孙晓娟; 陈一仁
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| 刊名 | 发光学报
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| 出版日期 | 2012-01-15 |
| 期号 | 01页码:82-87 |
| 关键词 | 金属有机物气相沉积 AlN 预通三甲基铝(TMAl) 应力 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28230]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宋航,李志明,缪国庆,等. 预通三甲基铝对AlN薄膜的结构与应变的影响(英文)[J]. 发光学报,2012(01):82-87. |
| APA | 宋航.,李志明.,缪国庆.,蒋红.,黎大兵.,...&陈一仁.(2012).预通三甲基铝对AlN薄膜的结构与应变的影响(英文).发光学报(01),82-87. |
| MLA | 宋航,et al."预通三甲基铝对AlN薄膜的结构与应变的影响(英文)".发光学报 .01(2012):82-87. |
入库方式： OAI收割
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