圆拟合修正法在超声波键合机中的应用
文献类型：期刊论文
| 作者 | 续志军
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| 刊名 | 半导体技术
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| 出版日期 | 2011-07-03 |
| 期号 | 07页码:549-553 |
| 关键词 | 超声波键合机 键合工具 位置误差 椭圆拟合 精度 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28232]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 续志军. 圆拟合修正法在超声波键合机中的应用[J]. 半导体技术,2011(07):549-553. |
| APA | 续志军.(2011).圆拟合修正法在超声波键合机中的应用.半导体技术(07),549-553. |
| MLA | 续志军."圆拟合修正法在超声波键合机中的应用".半导体技术 .07(2011):549-553. |
入库方式： OAI收割
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