RF磁控溅射技术制备TiO_(2-x)N_x薄膜及组成和结构研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 申德振
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| 刊名 | 东北师大学报(自然科学版)
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| 出版日期 | 2005-03-23 |
| 期号 | 01页码:50-53 |
| 关键词 | TiO2-xNx XRD XPS 吸收光谱 可见光 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28307]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 申德振. RF磁控溅射技术制备TiO_(2-x)N_x薄膜及组成和结构研究[J]. 东北师大学报(自然科学版),2005(01):50-53. |
| APA | 申德振.(2005).RF磁控溅射技术制备TiO_(2-x)N_x薄膜及组成和结构研究.东北师大学报(自然科学版)(01),50-53. |
| MLA | 申德振."RF磁控溅射技术制备TiO_(2-x)N_x薄膜及组成和结构研究".东北师大学报(自然科学版) .01(2005):50-53. |
入库方式： OAI收割
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