微结构气体传感器的加热器设计与模拟
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张彤 ; 杨广立 ; 李春明 ; 徐宝琨 |
| 刊名 | 测控技术
 |
| 出版日期 | 2004-05-18 |
| 期号 | 05页码:12-13 |
| 关键词 | 硅基 气体传感器 微加热器 有限元分析 温度分布 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28318]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张彤,杨广立,李春明,等. 微结构气体传感器的加热器设计与模拟[J]. 测控技术,2004(05):12-13. |
| APA | 张彤,杨广立,李春明,&徐宝琨.(2004).微结构气体传感器的加热器设计与模拟.测控技术(05),12-13. |
| MLA | 张彤,et al."微结构气体传感器的加热器设计与模拟".测控技术 .05(2004):12-13. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。