六维磁悬浮纳米级精密工件台的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 宋文荣 ; 于国飞 ; 王延风 ; 何惠阳 ; 田兴志 |
| 刊名 | 微细加工技术
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| 出版日期 | 2003-03-30 |
| 期号 | 01页码:15-21 |
| 关键词 | 光刻 磁悬浮 x-y工件台 定位精度 步进扫描 逐场调平调焦 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28349]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宋文荣,于国飞,王延风,等. 六维磁悬浮纳米级精密工件台的研究[J]. 微细加工技术,2003(01):15-21. |
| APA | 宋文荣,于国飞,王延风,何惠阳,&田兴志.(2003).六维磁悬浮纳米级精密工件台的研究.微细加工技术(01),15-21. |
| MLA | 宋文荣,et al."六维磁悬浮纳米级精密工件台的研究".微细加工技术 .01(2003):15-21. |
入库方式： OAI收割
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