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表面轮廓仪传递函数对超光滑表面粗糙度测量的影响

文献类型:期刊论文

作者向阳; 巩岩; 陈波
刊名光学精密工程
出版日期2002-02-28
期号01页码:45-49
关键词光洁度测量 超光滑表面 传递函数 线性系统
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28356]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
向阳,巩岩,陈波. 表面轮廓仪传递函数对超光滑表面粗糙度测量的影响[J]. 光学精密工程,2002(01):45-49.
APA 向阳,巩岩,&陈波.(2002).表面轮廓仪传递函数对超光滑表面粗糙度测量的影响.光学精密工程(01),45-49.
MLA 向阳,et al."表面轮廓仪传递函数对超光滑表面粗糙度测量的影响".光学精密工程 .01(2002):45-49.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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