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直角坐标和极坐标系一体的激光直写设备(英文)

文献类型:期刊论文

作者卢振武
刊名光子学报
出版日期2002-05-25
期号05页码:616-619
关键词激光直写 衍射光学元件 计算全息图和光刻
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28368]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
卢振武. 直角坐标和极坐标系一体的激光直写设备(英文)[J]. 光子学报,2002(05):616-619.
APA 卢振武.(2002).直角坐标和极坐标系一体的激光直写设备(英文).光子学报(05),616-619.
MLA 卢振武."直角坐标和极坐标系一体的激光直写设备(英文)".光子学报 .05(2002):616-619.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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