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Sil-xGex/Si应变异质结构材料的气态分子束外延生长及性质研究

文献类型:学位论文

作者邹吕凡
学位类别博士
答辩日期1996
授予单位中国科学院半导体研究所
授予地点北京
导师王占国
英文摘要Submitted by zhangdi (zhangdi@red.semi.ac.cn) on 2009-04-13T11:45:31Z; Submitted by zhangdi (zhangdi@red.semi.ac.cn) on 2009-04-13T11:45:31Z
学科主题半导体物理与半导体器件物理
语种中文
公开日期2009-04-13 ; 2010-10-15
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/4871]  
专题半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
邹吕凡. Sil-xGex/Si应变异质结构材料的气态分子束外延生长及性质研究[D]. 北京. 中国科学院半导体研究所. 1996.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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