100nm步进扫描投影光刻机工件台、掩模台的发展
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李志来 ; 董吉洪
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| 刊名 | 光机电信息
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| 出版日期 | 2004-05-25 |
| 期号 | 05页码:20-24 |
| 关键词 | 光刻机 工件台 掩模台 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28421]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李志来,董吉洪. 100nm步进扫描投影光刻机工件台、掩模台的发展[J]. 光机电信息,2004(05):20-24. |
| APA | 李志来,&董吉洪.(2004).100nm步进扫描投影光刻机工件台、掩模台的发展.光机电信息(05),20-24. |
| MLA | 李志来,et al."100nm步进扫描投影光刻机工件台、掩模台的发展".光机电信息 .05(2004):20-24. |
入库方式： OAI收割
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