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压电驱动超精密定位工作台的研究

文献类型:期刊论文

作者任建岳
刊名机械设计与研究
出版日期2003-04-30
期号02页码:44-45+8
关键词压电陶瓷微位移器件 精密定位 柔性铰链 线切割
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28436]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
任建岳. 压电驱动超精密定位工作台的研究[J]. 机械设计与研究,2003(02):44-45+8.
APA 任建岳.(2003).压电驱动超精密定位工作台的研究.机械设计与研究(02),44-45+8.
MLA 任建岳."压电驱动超精密定位工作台的研究".机械设计与研究 .02(2003):44-45+8.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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