准分子激光烧结玻璃衬底上多晶硅薄膜材料的制备
文献类型：期刊论文
| 作者 | 邱法斌 ; 骆文生 ; 张玉 ; 刘传珍 ; 荆海 ; 黄锡珉 |
| 刊名 | 液晶与显示
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| 出版日期 | 2001-09-15 |
| 期号 | 03页码:170-175 |
| 关键词 | 多晶硅膜 准分子激光烧结 玻璃衬底 制备 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28482]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邱法斌,骆文生,张玉,等. 准分子激光烧结玻璃衬底上多晶硅薄膜材料的制备[J]. 液晶与显示,2001(03):170-175. |
| APA | 邱法斌,骆文生,张玉,刘传珍,荆海,&黄锡珉.(2001).准分子激光烧结玻璃衬底上多晶硅薄膜材料的制备.液晶与显示(03),170-175. |
| MLA | 邱法斌,et al."准分子激光烧结玻璃衬底上多晶硅薄膜材料的制备".液晶与显示 .03(2001):170-175. |
入库方式： OAI收割
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