一种PDMS薄膜型微阀的制备与性能分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李战华; 靳刚 ; 崔海航
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| 刊名 | 微细加工技术
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| 出版日期 | 2004-09-30 |
| 期号 | 3页码:70-75 |
| 关键词 | 微流控 微阀 PDMS |
| 通讯作者 | 崔海航 |
| 中文摘要 | 通过厚胶光刻工艺在硅片上制备SU 8胶模板,利用该模板制备了高分子聚合物PDMS(Polydimethylsiloxane,聚二甲基硅氧烷)微流道和薄膜结构。通过对不同结构的两层PDMS的不可逆粘接得到一种简单的阀结构,在外加气源压力作用下薄膜产生变形实现对微流道的控制。实验测量了微阀的控制气源压力与被控制液体流量之间的关系,说明膜阀的开闭性能良好。根据弹性薄膜的变形理论,对影响微阀性能的参数进行了分析,并提出了几种可行的用于薄膜微阀控制的方法。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-08-03 ; 2010-08-20 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/41334]  |
| 专题 | 力学研究所_力学所知识产出(1956-2008) |
| 通讯作者 | 崔海航 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李战华,靳刚,崔海航. 一种PDMS薄膜型微阀的制备与性能分析[J]. 微细加工技术,2004(3):70-75. |
| APA | 李战华,靳刚,&崔海航.(2004).一种PDMS薄膜型微阀的制备与性能分析.微细加工技术(3),70-75. |
| MLA | 李战华,et al."一种PDMS薄膜型微阀的制备与性能分析".微细加工技术 .3(2004):70-75. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
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