磁悬浮纳米级步进扫描工作台CAD/CAE设计研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王延风 ; 卢志山 ; 宋文荣 ; 田兴志 ; 何惠阳 |
| 刊名 | 机械设计与研究
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| 出版日期 | 2004-02-29 |
| 期号 | 01页码:77-80+9 |
| 关键词 | CAD/CAE 磁悬浮 光刻 定位精度 有限元方法 电磁场分析 模态分析和测试 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28523]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王延风,卢志山,宋文荣,等. 磁悬浮纳米级步进扫描工作台CAD/CAE设计研究[J]. 机械设计与研究,2004(01):77-80+9. |
| APA | 王延风,卢志山,宋文荣,田兴志,&何惠阳.(2004).磁悬浮纳米级步进扫描工作台CAD/CAE设计研究.机械设计与研究(01),77-80+9. |
| MLA | 王延风,et al."磁悬浮纳米级步进扫描工作台CAD/CAE设计研究".机械设计与研究 .01(2004):77-80+9. |
入库方式： OAI收割
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