氧离子辅助法沉积ITO透明导电膜的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘星元 ; 王立军
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| 刊名 | 光学精密工程
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| 出版日期 | 2001-04-30 |
| 期号 | 02页码:169-173 |
| 关键词 | 离子辅助沉积 ITO膜 电子束 氧空位 原子力显微镜 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28540]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘星元,王立军. 氧离子辅助法沉积ITO透明导电膜的研究[J]. 光学精密工程,2001(02):169-173. |
| APA | 刘星元,&王立军.(2001).氧离子辅助法沉积ITO透明导电膜的研究.光学精密工程(02),169-173. |
| MLA | 刘星元,et al."氧离子辅助法沉积ITO透明导电膜的研究".光学精密工程 .02(2001):169-173. |
入库方式： OAI收割
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