二元光学激光直写设备高精度传动系统的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 冯晓国
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| 刊名 | 仪器仪表学报
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| 出版日期 | 2005-03-30 |
| 期号 | 03页码:275-278 |
| 关键词 | 传动系统 气体静压导轨 定位精度 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28572]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯晓国. 二元光学激光直写设备高精度传动系统的研究[J]. 仪器仪表学报,2005(03):275-278. |
| APA | 冯晓国.(2005).二元光学激光直写设备高精度传动系统的研究.仪器仪表学报(03),275-278. |
| MLA | 冯晓国."二元光学激光直写设备高精度传动系统的研究".仪器仪表学报 .03(2005):275-278. |
入库方式： OAI收割
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