离轴照明Schwarzschild投影物镜的计算机辅助装调方法
文献类型：期刊论文
| 作者 | 金春水
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| 刊名 | 光学精密工程
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| 出版日期 | 2003-04-25 |
| 期号 | 02页码:144-150 |
| 关键词 | 极紫外投影光刻 光学系统装调 奇异值分解 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28637]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金春水. 离轴照明Schwarzschild投影物镜的计算机辅助装调方法[J]. 光学精密工程,2003(02):144-150. |
| APA | 金春水.(2003).离轴照明Schwarzschild投影物镜的计算机辅助装调方法.光学精密工程(02),144-150. |
| MLA | 金春水."离轴照明Schwarzschild投影物镜的计算机辅助装调方法".光学精密工程 .02(2003):144-150. |
入库方式： OAI收割
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