微摩擦测试仪力传感器的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李锋 ; 吴一辉
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| 刊名 | 光学精密工程
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| 出版日期 | 2002-08-30 |
| 期号 | 04页码:388-391 |
| 关键词 | MEMS 微摩擦测试 力传感器 结构设计 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28671]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李锋,吴一辉. 微摩擦测试仪力传感器的研究[J]. 光学精密工程,2002(04):388-391. |
| APA | 李锋,&吴一辉.(2002).微摩擦测试仪力传感器的研究.光学精密工程(04),388-391. |
| MLA | 李锋,et al."微摩擦测试仪力传感器的研究".光学精密工程 .04(2002):388-391. |
入库方式： OAI收割
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