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MEMS和微流体分析系统的发展

文献类型:期刊论文

作者吴一辉
刊名光机电信息
出版日期2003-07-25
期号07页码:27-31
关键词MEMS技术:6304 微型全分析系统:4765 微流体:4334 压力传感器:2159 分析仪器:1871 加速度计:1775 流体分析:1530 微制造技术:1371 微小化:1291 仪器仪表:1244
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28677]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
吴一辉. MEMS和微流体分析系统的发展[J]. 光机电信息,2003(07):27-31.
APA 吴一辉.(2003).MEMS和微流体分析系统的发展.光机电信息(07),27-31.
MLA 吴一辉."MEMS和微流体分析系统的发展".光机电信息 .07(2003):27-31.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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