AZ4903光刻胶在微电机定子绕组制作中的应用
文献类型：期刊论文
| 作者 | 吴一辉
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| 刊名 | 清华大学学报(自然科学版)
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| 出版日期 | 2005-08-25 |
| 期号 | 08页码:1062-1065 |
| 关键词 | 机械制造工艺 AZ4903 电磁型平面微电机 绕组线圈 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28741]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴一辉. AZ4903光刻胶在微电机定子绕组制作中的应用[J]. 清华大学学报(自然科学版),2005(08):1062-1065. |
| APA | 吴一辉.(2005).AZ4903光刻胶在微电机定子绕组制作中的应用.清华大学学报(自然科学版)(08),1062-1065. |
| MLA | 吴一辉."AZ4903光刻胶在微电机定子绕组制作中的应用".清华大学学报(自然科学版) .08(2005):1062-1065. |
入库方式： OAI收割
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