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光反射法微摩擦测试仪

文献类型:期刊论文

作者吴一辉
刊名中国机械工程
出版日期2005-07-30
期号14页码:1299-1302
关键词MEMS 微摩擦测试 光反射法 硅传感器 线阵CCD
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28776]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
吴一辉. 光反射法微摩擦测试仪[J]. 中国机械工程,2005(14):1299-1302.
APA 吴一辉.(2005).光反射法微摩擦测试仪.中国机械工程(14),1299-1302.
MLA 吴一辉."光反射法微摩擦测试仪".中国机械工程 .14(2005):1299-1302.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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