激光晶化多晶硅的制备与XRD谱
文献类型:期刊论文
作者 | 缪国庆; 缪国庆 |
刊名 | 吉林大学学报(理学版)
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出版日期 | 2004-03-26 |
期号 | 01页码:99-102 |
关键词 | 氢化非晶硅 脱氢 激光晶化 多晶硅 X射线衍射 半宽度 |
公开日期 | 2013-03-11 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28780] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 缪国庆,缪国庆. 激光晶化多晶硅的制备与XRD谱[J]. 吉林大学学报(理学版),2004(01):99-102. |
APA | 缪国庆,&缪国庆.(2004).激光晶化多晶硅的制备与XRD谱.吉林大学学报(理学版)(01),99-102. |
MLA | 缪国庆,et al."激光晶化多晶硅的制备与XRD谱".吉林大学学报(理学版) .01(2004):99-102. |
入库方式: OAI收割
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