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激光晶化多晶硅的制备与XRD谱

文献类型:期刊论文

作者缪国庆; 缪国庆
刊名吉林大学学报(理学版)
出版日期2004-03-26
期号01页码:99-102
关键词氢化非晶硅 脱氢 激光晶化 多晶硅 X射线衍射 半宽度
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28780]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
缪国庆,缪国庆. 激光晶化多晶硅的制备与XRD谱[J]. 吉林大学学报(理学版),2004(01):99-102.
APA 缪国庆,&缪国庆.(2004).激光晶化多晶硅的制备与XRD谱.吉林大学学报(理学版)(01),99-102.
MLA 缪国庆,et al."激光晶化多晶硅的制备与XRD谱".吉林大学学报(理学版) .01(2004):99-102.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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