偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王淑荣 ; 吴一辉; 张平
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| 刊名 | 微细加工技术
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| 出版日期 | 2003-12-30 |
| 期号 | 04页码:18-21+26 |
| 关键词 | (111)硅片 闪耀光栅 体硅技术 微制造 MEMS 湿法腐蚀 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28817]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王淑荣,吴一辉,张平. 偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计[J]. 微细加工技术,2003(04):18-21+26. |
| APA | 王淑荣,吴一辉,&张平.(2003).偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计.微细加工技术(04),18-21+26. |
| MLA | 王淑荣,et al."偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计".微细加工技术 .04(2003):18-21+26. |
入库方式： OAI收割
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