偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计
文献类型:期刊论文
作者 | 王淑荣![]() ![]() ![]() |
刊名 | 微细加工技术
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出版日期 | 2003-12-30 |
期号 | 04页码:18-21+26 |
关键词 | (111)硅片 闪耀光栅 体硅技术 微制造 MEMS 湿法腐蚀 |
公开日期 | 2013-03-11 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28817] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王淑荣,吴一辉,张平. 偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计[J]. 微细加工技术,2003(04):18-21+26. |
APA | 王淑荣,吴一辉,&张平.(2003).偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计.微细加工技术(04),18-21+26. |
MLA | 王淑荣,et al."偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计".微细加工技术 .04(2003):18-21+26. |
入库方式: OAI收割
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