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偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计

文献类型:期刊论文

作者王淑荣; 吴一辉; 张平
刊名微细加工技术
出版日期2003-12-30
期号04页码:18-21+26
关键词(111)硅片 闪耀光栅 体硅技术 微制造 MEMS 湿法腐蚀
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28817]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
王淑荣,吴一辉,张平. 偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计[J]. 微细加工技术,2003(04):18-21+26.
APA 王淑荣,吴一辉,&张平.(2003).偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计.微细加工技术(04),18-21+26.
MLA 王淑荣,et al."偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计".微细加工技术 .04(2003):18-21+26.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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