偏心孔阑离轴照明EUVL微缩投影物镜的设计及模拟装调
文献类型：期刊论文
| 作者 | 金春水
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| 刊名 | 光学仪器
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| 出版日期 | 2003-08-30 |
| 期号 | 04页码:39-43 |
| 关键词 | 极紫外投影光刻 Schwarzschild投影物镜 计算机辅助装调 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28869]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金春水. 偏心孔阑离轴照明EUVL微缩投影物镜的设计及模拟装调[J]. 光学仪器,2003(04):39-43. |
| APA | 金春水.(2003).偏心孔阑离轴照明EUVL微缩投影物镜的设计及模拟装调.光学仪器(04),39-43. |
| MLA | 金春水."偏心孔阑离轴照明EUVL微缩投影物镜的设计及模拟装调".光学仪器 .04(2003):39-43. |
入库方式： OAI收割
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