曝光量对码盘、圆光栅均匀性误差的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈贇 |
| 刊名 | 计量技术
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| 出版日期 | 2005-12-18 |
| 期号 | 12页码:28-29 |
| 关键词 | 码盘 圆光栅 曝光量 均匀性误差 黑白比 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28884]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈贇. 曝光量对码盘、圆光栅均匀性误差的影响[J]. 计量技术,2005(12):28-29. |
| APA | 陈贇.(2005).曝光量对码盘、圆光栅均匀性误差的影响.计量技术(12),28-29. |
| MLA | 陈贇."曝光量对码盘、圆光栅均匀性误差的影响".计量技术 .12(2005):28-29. |
入库方式： OAI收割
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