亚微米尺寸元件的离子束刻蚀制作
文献类型：期刊论文
| 作者 | 曹召良 ; 卢振武
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| 刊名 | 光子学报
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| 出版日期 | 2003-06-25 |
| 期号 | 06页码:653-656 |
| 关键词 | 离子束刻蚀 亚微米 离子能量 束流密度 刻蚀速率 表面光洁度 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28934]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曹召良,卢振武. 亚微米尺寸元件的离子束刻蚀制作[J]. 光子学报,2003(06):653-656. |
| APA | 曹召良,&卢振武.(2003).亚微米尺寸元件的离子束刻蚀制作.光子学报(06),653-656. |
| MLA | 曹召良,et al."亚微米尺寸元件的离子束刻蚀制作".光子学报 .06(2003):653-656. |
入库方式： OAI收割
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