形状记忆合金薄膜微驱动器过程准可控研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 曲炳郡 ; 李路明 ; 张玉玲 ; 王立鼎 |
| 刊名 | 大连理工大学学报
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| 出版日期 | 2001-02-10 |
| 期号 | 01页码:64-66 |
| 关键词 | 形状记忆合金薄膜/微夹持器 过程不可控 过程准可控 单元互联 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28964]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曲炳郡,李路明,张玉玲,等. 形状记忆合金薄膜微驱动器过程准可控研究[J]. 大连理工大学学报,2001(01):64-66. |
| APA | 曲炳郡,李路明,张玉玲,&王立鼎.(2001).形状记忆合金薄膜微驱动器过程准可控研究.大连理工大学学报(01),64-66. |
| MLA | 曲炳郡,et al."形状记忆合金薄膜微驱动器过程准可控研究".大连理工大学学报 .01(2001):64-66. |
入库方式： OAI收割
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