用于微摩擦测试的微力传感器及其制作
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张平 ; 吴一辉; 王淑荣
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| 刊名 | 微细加工技术
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| 出版日期 | 2004-09-30 |
| 期号 | 03页码:65-69 |
| 关键词 | MEMS 微摩擦测试 微力传感器 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28969]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张平,吴一辉,王淑荣. 用于微摩擦测试的微力传感器及其制作[J]. 微细加工技术,2004(03):65-69. |
| APA | 张平,吴一辉,&王淑荣.(2004).用于微摩擦测试的微力传感器及其制作.微细加工技术(03),65-69. |
| MLA | 张平,et al."用于微摩擦测试的微力传感器及其制作".微细加工技术 .03(2004):65-69. |
入库方式： OAI收割
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