高精度衍射光栅刻划机的最新技术进展
文献类型：期刊论文
| 作者 | 时轮 ; 郝德阜 ; 齐向东 |
| 刊名 | 仪器仪表学报
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| 出版日期 | 2001-12-30 |
| 期号 | S2页码:438-439 |
| 关键词 | 衍射光栅刻划机 双重定位 间歇式 连续式 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28977]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 时轮,郝德阜,齐向东. 高精度衍射光栅刻划机的最新技术进展[J]. 仪器仪表学报,2001(S2):438-439. |
| APA | 时轮,郝德阜,&齐向东.(2001).高精度衍射光栅刻划机的最新技术进展.仪器仪表学报(S2),438-439. |
| MLA | 时轮,et al."高精度衍射光栅刻划机的最新技术进展".仪器仪表学报 .S2(2001):438-439. |
入库方式： OAI收割
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