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反射率计超高真空动密封馈入系统的研制

文献类型:期刊论文

作者刘伟
刊名真空
出版日期2005-05-25
期号03页码:43-44
关键词超高真空 密封 馈入系统 差分
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29074]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
刘伟. 反射率计超高真空动密封馈入系统的研制[J]. 真空,2005(03):43-44.
APA 刘伟.(2005).反射率计超高真空动密封馈入系统的研制.真空(03),43-44.
MLA 刘伟."反射率计超高真空动密封馈入系统的研制".真空 .03(2005):43-44.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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